光伏产业、化工业、制造业、平板显示器行业、半导体行业、科学研究等 等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等
● 模块化设计，可拆装机架式安装方式;
● 可配置脉冲同步；
● 支持通用标准的相位调节，
● 保护功能齐全，响应速度快；
● 功率输出高稳态；
● 通讯接口多样可选；
工作频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
输出功率：300W、600W、1kW、1.5kW、2kW、3kW、6kW、8kW、10kW或定制
公司总部 : 江西省九江市柴桑区沙城工业园锦绣一路6号
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